研磨是在精加工基礎上用研具和磨料從工件表面磨去一層極薄金屬的一種磨料精密加工方法。金屬研磨工藝是能讓產品的外觀去除毛刺達到美觀的效果。在晶棒、晶圓的制造過程中,切割、研磨、劃片、減薄、化學研磨平坦化等工藝后的清洗過程中,均會產生研磨廢水。金屬研磨廢水一般含有大量的金屬、研磨液(主要是油),清洗液等污染物,若這些廢水不經處理,直接排放,將嚴重污染環境,必須經過處理方能排放。
(研磨廢水)
研磨廢水為高濃度無機廢水,主要以懸浮物為主,廢水呈堿性,廢水中的污染物主要為粒徑極小且不易沉降的穩定懸浮顆粒、硬度、堿度及少量有機物等,此研磨廢水處理難度極大。
(研磨廢水破乳劑)
研磨廢水破乳劑屬于高分子聚合物,能將廢水中含油物質和水中油分,進成分解破壞乳狀液的表面活性劑,部分取代穩定膜的作用使乳狀液破壞,把油和水分散集破乳、吸附、絮凝、沉淀。在水中同時能吸附電和,去除水中的COD高的問題。
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